Сухая лазерная очистка начинается с быстрого теплового расширения приповерхностного слоя основного материала и удаляемого загрязнения под действием импульсов лазерного излучения, которое приводит к возникновению механических напряжений в загрязняющем слое и инерционной силы при прекращении импульса. Существуют и дополнительные эффекты, связанные с генерацией в приповерхностном слое термоупругих напряжений и ударных акустических волн, за счет этих явлений загрязнения могут дополнительно «отрываться» от поверхности